科学的发现和革新往往依赖于新的观测手段和仪器技术。极紫外、X射线与中子的波长短、光子/粒子能量高,作为观测手段具有高分辨、“芯”能级电子态检测、和大穿透深度等优势,被广泛用于超高精度和极端条件下的显微、望远和制造。团队历经二十余年,建立了从极紫外、X射线与中子薄膜器件到精密光学系统的全链条研发平台和技术体系,将新的观测和调控手段由愿景变为现实,应用在国内外大科学装置中。为“知微见著、仰望星空”贡献了关键力量。
极紫外、X射线与中子的波长短,需要高精度薄膜器件实现有效反射和调控,光学器件的特征结构尺度达到纳米至百纳米量级,精度高、制备难度大。研究所建立了包括超精密反射镜加工、一维多层膜与薄膜损伤、以及二维多层膜微结构多维一体的极紫外、X射线与中子薄膜微纳器件研制平台,发展了反射镜全频谱纳米形貌加工和检测、超薄多层膜生长调控和辐照损伤机理、二维多层膜微结构创新设计和制作等新方法和新技术,制作的薄膜器件整体性能达到国际先进或领先水平,成功应用在国内外同步辐射束线站、精密等离子体诊断、中子谱仪等重大科学装置和仪器。
围绕高能量密度物理、宇宙物理和中子源等国家重大专项和大科学装置建设的迫切需求,以极紫外与X射线显微成像系统、天文望远镜和中子薄膜光学系统为研究对象,建立了核心器件复合研制、系统级精密集成装调、和性能测试优化相互协同的研发平台;掌握了极紫外、X射线和中子光学系统的精密物像关系调控规律、多参数误差解耦的装校方法、以及地面和空间复杂使役环境下集成测试与应用技术,形成了从总体方案设计到元件制备检测,从高精度装配到快速调试应用的全流程研发能力。研制的显微、望远等系统广泛应用在我国多个强激光、中子源、等离子体诊断等大装置和天文观测卫星载荷中。
2016级博士研究生
2018级博士研究生
2018级博士研究生
2018级博士研究生
2020级博士研究生