科学研究

高精度双离子束镀膜修形设备

高精度双离子束镀膜修形设备

简介:实现大尺寸高致密度纳米薄膜的镀制和反射镜面形修正,最大尺寸500x300mm。应用于高反射率单层膜、多层膜镀制,反射镜加工。