研究方向:光学-等离子体诊断
研究方向:极紫外光刻薄膜反射镜辐照损伤研究
研究方向:等离子体诊断用多能点准单能软X射线多层膜谱仪关键技术研究
研究方向:中子光学,中子聚焦系统
研究方向:X射线多层膜光栅
研究方向:极紫外与X射线光学系统
研究方向:X射线束形调控
研究方向:极紫外与X射线多层膜反射元件的制备与表征方法研究