奖励与专利-同济大学精密光学工程技术研究所

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二维铬纳米栅格标准物质

标准物质名称：二维铬纳米栅格标准物质
标准物质等级：国家二级标准物质
编号：GBW(E)130838
标准物质研制机构：同济大学、中国计量科学研究院
一维硅纳米光栅标准物质

标准物质名称：一维硅纳米光栅标准物质
标准物质等级：国家一级标准物质
编号：GBW13983
标准物质研制机构：同济大学、中国科学院上海应用物理研究所、中国计量科学研究院
一维铬纳米光栅标准物质

标准物质名称：一维铬纳米光栅标准物质
标准物质等级：国家一级标准物质
编号：GBW13982
标准物质研制机构：同济大学、中国计量科学研究院
多结构硅纳米线宽标准物质

标准物质名称：多结构硅纳米线宽标准物质
标准物质等级：国家二级标准物质
编号：GBW（E）130744
标准物质研制机构：同济大学、中国计量科学研究院
一种精确缩短节距值的自溯源光栅标准物质制备方法

专利类型：发明专利
申请/专利号：CN202010575620.3
发明/设计人：程鑫彬邓晓刘杰顾振杰李同保赵俊杨树敏吴衍青邰仁忠
一种二维原子光刻栅格结构制备方法

专利类型：发明专利
申请/专利号：CN201810548515.3
发明/设计人：程鑫彬邓晓李同保刘杰朱立

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