大尺寸超高精度磁控溅射镀膜机3#
简介：磁控溅射制备极紫外至X射线波段各类大尺寸平面/圆对称曲面光学反射镜薄膜，比如W/Si多层膜，Cr/C多层膜，Pt单层膜等。样品尺寸：Φ200mm；厚度均匀性精度：1%。适用于极紫外、X射线与中子光学系统中各类大尺寸反射镜、偏振片、单色器等薄膜制备。
