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Asymmetric line edge roughness of multilayer grating reference materials
Wang Xingrui, Cheng Xinbin, Zhang Longfei, et al. Aip Adv, 2018, 8(3).

发布时间：2018-03-14 发布者：来源：浏览：

Wang Xingrui, Cheng Xinbin, Zhang Longfei, et al. Aip Adv, 2018, 8(3).

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