科学研究

极紫外、X射线与中子

科学的发现和革新往往依赖于新的观测手段和仪器技术。极紫外、X射线与中子的波长短、光子/粒子能量高,作为观测手段具有高分辨、“芯”能级电子态检测、和大穿透深度等优势,被广泛用于超高精度和极端条件下的显微、望远和制造。团队历经二十余年,建立了从极紫外、X射线与中子薄膜器件到精密光学系统的全链条研发平台和技术体系,将新的观测和调控手段由愿景变为现实,应用在国内外大科学装置中。为“知微见著、仰望星空”贡献了关键力量。

科研方向Research directions

科研团队Research team

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王占山

职称:教授

王占山,精密光学工程技术研究所创始人,同济大学先进技术研究院院长,同济大学高等研究院执行副院长,同济大学学术委员会秘书长,先进微结构材料教育部重点实验室主任,上海市数字光学前沿科学研究基地主任,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台主任,国家某重大专项专家委员会委员,国家自然科学基金委员会信息学部咨询委委员,国家重点研发技术专家组成员;上海市第十次党代会代表,国际光学与光子学学会会士(SPIE Fellow),中国光学学会会士,中国光学学会理事会理事,中国光学工程学会常务理事,中国光学学会光学薄膜专业委员会副主任,物理科学与工程学院教授,教育部长江学者特聘教授,先后主持了国家自然科学基金重大、创新研究群体、杰出青年基金、国家重大专项、重点研发计划等项目,先后发表Light,Optical Letters等SCI收录论文200余篇,获授权专利100余项,其中“一种激光薄膜的制备方法”获2018年中国专利金奖,含该专利在内的5项专利实现转让,获收益3800万元。2019年获国家技术发明奖二等奖(排名1),2016年获国家技术发明奖二等奖(排名2),2021年获中国仪器仪表学会技术发明奖一等奖(排名1),2015年获教育部技术发明奖一等奖(排名1),2011年获上海市技术发明奖二等奖(排名1)。多次在境外国际会议上有邀请报告,担任多个境外国际会议程序委员会委员。任《光子学报》副主编,《光学学报》、《光学精密工程》、《中国光学》编委。

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  • 潘刘洋

    2016级博士研究生

  • 吴桥宇

    2018级博士研究生

  • 张琪雅

    2018级博士研究生

  • 何佳莲

    2018级博士研究生

  • 朱一帆

    2020级博士研究生

科研成果 Research achievements

论文与专著查看更多
  • Ultrafast time-resolved pump-probe investigation of nanosecond extreme ultraviolet light induced damage dynamics on B4C/Ru nano-bilayer film

    Liuyang Pan, Shuhui Li, Jinyu Cao, Jiali Wu, Zhe Zhang, Kun Wang, Qiushi Huang, Bin Ma, Wenbin Li*, and Zhanshan Wang*

    DOI:10.1021/acs.nanolett.2c01171

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  • High-resolution X-ray flash radiography of Ti characteristic lines with multilayer Kirkpatrick–Baez microscope at the Shenguang-II Update laser facility

    Shengzhen Yi, Feng Zhang, Qiushi Huang, Lai Wei, Yuqiu Gu, and Zhanshan Wang, High Power Laser Science and Engineering, 9, e42 (2021)

    DOI:10.1017/hpl.2021.30

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  • Evolution of chemical, structural, and mechanical properties of titanium nitride thin films deposited under different nitrogen partial pressure

    Runze Qi, Liuyang Pan, Yufei Feng, Jiali Wu, Wenbin Li, Zhanshan Wang, Results in Physics, 19, 103416 (2020).

    DOI:10.1016/j.rinp.2020.103416

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  • Realization of wafer-scale nanogratings with sub-50 nm period through vacancy epitaxy

    Qiushi Huang, Qi jia, Jiangtao Feng, Hao Huang, Xiaowei Yang, Joerg Grenzer, Kai Huang, Shibing Zhang, Jiajie Lin, Hongyan Zhou, Tiangui You, Wenjie Yu, Stefan Facsko, Philippe Jonnard, Meiyi Wu, Angelo Giglia, Zhong Zhang, Zhi Liu, Zhanshan Wang, Xi Wang

    DOI:10.1038/s41467-019-10095-2

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奖励与专利 查看更多

2021年中国仪器仪表学会技术发明一等奖

抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用

一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法

基于线型磁控溅射靶枪的大尺寸平面基底镀膜方法及装置

一种超精密车削加工自由曲面棱镜加工方法

一种X射线宽光谱三层膜反射镜结构设计方法

一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构

一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置

一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置

具有屏蔽伽马辐射效果的X光针孔阵列相机及其装配方法

科研条件 research condition