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Evolution of chemical, structural, and mechanical properties of titanium nitride thin films deposited under different nitrogen partial pressure

发布时间：2020-12-19 发布者：来源：浏览：

Runze Qi, Liuyang Pan, Yufei Feng, Jiali Wu, Wenbin Li, Zhanshan Wang, Results in Physics, 19, 103416 (2020).