扫描电子显微镜
型号：Sigma 300
品牌：Carl Zeiss
简介：扫描电子显微镜是观测微纳结构几何形貌、表征结构尺寸最主要手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,最终获得成像结果。具有Inlens模式和SE2两种探测模式，装配有5轴全自动样品台。最高成像分辨率≤5nm；放大倍数从10x至1000000x，最大加速电压30kv，探针电流范围从3pA至20nA，样品室尺寸为365mm，可实现晶圆级检测。
