磁控溅射镀膜机1#
简介：磁控溅射制备极紫外至X射线波段各类光学薄膜，比如W/Si多层膜，Cr/C多层膜，Pt单层膜等。样品尺寸：Φ100mm；厚度均匀性精度：优于2%。适用于极紫外、X射线与中子光学系统中各类小尺寸反射镜、偏振片、单色器薄膜制备。
