科学研究

基于线型磁控溅射靶枪的大尺寸平面基底镀膜方法及装置

发布时间:2020-09-03 发布者: 来源: 浏览:

专利类型:发明专利

申请/专利号:CN202010913247.8

发明/设计人:王占山 齐润泽 王长青