设备名称:
主要功能:主要用于激光薄膜元件的散射测量,包括小角散射、双向反射分布函数、双向透射分布函数、散射损耗,同时还可用于测量反射率与透射率。
技术指标:角分辨率: <0.001°: 支持不同偏振光的入射与探测:支持二维、三维扫描系统:测试波长:320nm, 633nm, 808nm, 1064 nm
应用范围:(1)可测平面、曲面的镀膜或基板样品;(2)最大样品重量1kg;(3)最大样品尺寸200mmX 100mm;(4)在高角度分辨率与高检测灵敏度条件下获得样品的ARS图。