设备名称：光学轮廓仪
型号: ContourGT-x3
技术指标：光学镜头放大倍率: 2.5x, 10x, 50XZ轴扫描范围: 0. 1nm 10mm集成式抗震工作平台,8英寸平台实现样品表面的拼接缝合测量。表面微观形貌测量,对表面的平面度、粗糖度、波纹度、共面性、面形轮靡、表面缺陷、磨损情况、孔隙功能间隙、台阶高度等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范围：(1)材料领域(聚合物、金属和陶瓷等表面微观形貌测量)；(2)光学领域(光学基板以及薄膜的表面微观形貌的表征、粗糙度的精确测量)。
