设备名称：红外多功能镀膜机
型号:Leybold ARES1100
主要功能：电子束蒸发或离子辅助制备近红外至远红外波段各类介质光学薄膜,蒸镀各种金属薄膜,可加工直径350mm以内
技术指标：二级真空泵组,包含Polycold和一个深冷泵。单电子枪双阻抗蒸发配置,高精度光学厚度监控系统OM S5000;晶振厚度监控系统: XTC/3, 6点是水晶传感器APS离子源软件全自动控制蒸镀过程。
应用范围：(1),C02、 CH4等气体探测器和红外成像等,比如AR膜, HR膜, BPF, Edge filter, PBS等。(2)消费品中的各类器件,红外探测器窗口,红外测温,红外传感等,比如AR膜,HR膜,BPF膜等。(3)可见光目视、CCD成像、激光测距腊准、红外搜索跟踪等功能,比如AR膜, HR膜, PBS, BPF, Edgefilter等。
