纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术，是先进纳米制造技术的基础支撑。其中，溯源性是纳米计量的基础问题，而研制纳米计量标准物质是实现纳米测量溯源性传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节。当下，纳米科技正朝向特征尺寸缩小的趋势发展，先进制造业急需兼顾高准度、高稳定性的纳米长度标准物质，具体包括：线宽、阶高、线纹尺、节距（1D栅），网格（2D栅）等。为适应纳米计量扁平化量值传递溯源的新要求，光学计量团队基于铬跃迁频率，采用原子光刻技术和软X射线干涉技术制备了1D 212.8nm、2D 212.8nm、1D 106.4nm等多种自溯源光栅标准物质；在多层膜沉积技术研制硅纳米线宽结构的基础上，探索了基于硅晶格常数的硅纳米线宽自溯源型测量方法。在应用领域，团队开展了自溯源光栅对扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等各类高精密测量仪器的实时校准研究，同时研制了基于自溯源光栅的超精密位移传感器、加速度计、光栅节距校准装置等计量测试仪器。研究结果表明，自溯源型标准物质及其测量方法缩短了各种精密仪器和加工技术过程中的纳米长度计量溯源链，是先进纳米制造和新一代信息技术的有力支撑。
