原子光刻实验系统
型号：自研
简介：采用激光汇聚原子沉积的方式进行自溯源光栅制备，主要工作方式为：将金属铬升温使其从原子炉中喷发出铬原子束，将激光扩束对原子束进行冷却，最后使铬原子沉积在驻波场中形成光栅。
