研究方向：纳米干涉计量
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研究方向：纳米计量，仪器科学与技术
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研究方向：原子光刻
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研究方向：纳米计量
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研究方向：多层膜线宽样品测量
联系方式：2130943@tongji.edu.cn
研究方向：自溯源光栅研制及其二维角度应用
联系方式：2230989@tongji.edu.cn
研究方向：加速度传感、精密重力测量
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研究方向：铬原子光刻
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