微纳光学器件与集成应用-同济大学精密光学工程技术研究所

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微纳光学器件与集成应用

本方向致力于研究晶圆级微纳光学器件的调控机理、器件设计、制造表征和集成应用。研究方向聚焦于光场调控理论、计算电磁学、微纳加工技术以及片上集成应用等。

科研成果 Research achievements

The effect of an electric field on the thermomechanical damage of nodular defects in dielectric multilayer coatings irradiated by nanosecond laser pulses

Xinbin Cheng, Jinlong Zhang, Tao Ding, Zeyong Wei, et al. Science & Applications, 2013, 2(e80).

The effect of an electric field on the thermomechanical damage of nodular defects in dielectric multilayer coatings irradiated by nanosecond laser pulses
Xinbin Cheng, Jinlong Zhang, Tao Ding, Zeyong Wei, et al. Science & Applications, 2013, 2(e80).

科研队伍Research team

教师查看更多: 姜天舒

入选国家级高层次青年人才项目，主要从事拓扑光子学研究。曾在Nature、Nature Communications、Nanophotonics、Physical Review B等期刊上发表文章。

程鑫彬

程鑫彬，同济大学物理科学与工程学院教授、博士生导师，精密光学工程技术研究所所长，国家杰出青年基金获得者，获国家技术发明奖二等奖，获得中国专利金奖，激光薄膜技术实现成果转化。主要从事微纳智能感知、强激光器件和纳米计量方面的研究。承担国家重大科技专项、国家重点研发计划、国家自然科学基金等科研项目十余项，以第一/通讯作者发表Science Advances、Light: Science & Applications、Optica、等四十余篇文章。

董思禹

入选上海市“超级博士后”激励计划，主要从事微纳结构光学器件及光谱感知应用相关研究。承担中国博士后科学基金特别资助、面上资助等科研项目，在Light：Science & Applications、Progress in Surface Science、Applied Physics Letters、Optics Express等期刊发表文章。

何涛

主要从事电磁波与亚波长结构的相互作用和亚波长结构的微纳制造技术研究。主持中国博士后科学基金第71批面上项目，参与国家自然科学基金2项，在Science Advances，Nanotechnology，Optics Letters等期刊和会议上发表论文7篇，授权专利2项。在“第七届亚太光学制造会议暨2021年国际先进光学制造青年科学家论坛”作邀请报告

欧凯

同济的大学物理科学与工程学院助理教授，硕士生导师。主要从事人工微结构的多维光场调控理论与功能器件的实验表征研究。提出了光子多维度调控的全新理念，开展了矢量光场调控理论、实验和应用研究。在Scinece Advances、Laser & Photonics Reviews、Nanoscale等期刊发表文章十余篇，相关工作获2021年中国科学院院长优秀奖。担任Optics Letters、Optics Express等光学权威期刊的审稿人。

施宇智

入选国家级高层次青年人才项目、上海市领军人才（海外）青年项目，主要从事光流控光镊操控芯片的基础理论和生物应用研究。在Science Advances（X4）、Physical Review Letters（X3）、Light: Science & Applications（X4）、Nature Communications（X3）等知名期刊发表文章50余篇。

魏泽勇

主要从事人工微结构材料的光场调控机理、计算电磁学和光场仿真软件研究。发展了本征模式展开降维计算理论，将光栅、超表面、频率选择表面、光子晶体等周期结构的光场仿真计算效率提高了1-2个数量级；发展了傅里叶空间/实空间混合计算的微纳器件光学系统仿真方法，突破了含微纳器件的混合尺度光学系统全波仿真计算瓶颈；提出了基于层间耦合的宽频带电磁透明方法，开展了型号应用研究。在Advanced Optical Materials，Applied Physics Letters，Optics Letters等杂志上发表SCI论文60余篇，申请国家发明专利20多项，他引2400余次，申请并获得了三项国家自然科学基金项目，作为项目负责人承担了多项国防科研项目。

谢凌云

谢凌云，博士后，主要从事微纳器件研究，在Optics Express 、Micromachines 、Applied Optics 和强激光与粒子束等国内外相关专业期刊以第一作者或共同一作/通讯发表文章6 篇，授权国家发明专利1 项，获得 2021 年度上海市“超级博士后”资助项目。

张惠淇

张惠淇，同济大学精密光学工程技术研究所科研助理，主要从事微纳光学与智能感知方向的科研项目相关事务。

朱静远

毕业于复旦大学信息科学与工程学院，主要从事以电子束光刻为核心的微纳加工技术及其微纳光学器件、X射线衍射元件的研究。参与国家自然科学基金联合培育项目、重大项目、173等科研项目，在Microelectronic Engineering、ECS Journal of Solid State Science and Technology、Chinese Physics B等期刊发表多篇SCI文章。

学生查看更多: 李浩然

2018级博士研究生

散射机理与测试表征

周健宇

2018级博士研究生

片上滤波微结构

梁海刚

2019级博士研究生

高效率超构表面逆向设计

张占一

2019级博士研究生

超构表面设计和加工

薛栋柏

2020级博士研究生

激光干涉光刻系统及全息光栅制备工艺技术研究

李程峰

2020级博士研究生

超构表面的设计，加工及应用

梁晓佳

2020级博士研究生

超表面

李书桥

2021级博士研究生

片上

徐伟杰

2021级博士研究生

深度学习超表面逆设计及超表面数值仿真计算

冯超

2021级博士研究生

高效率超构表面设计和加工

罗毅杰

2021级博士研究生

微波超表面的高效率异常反射

宁燚

2021级博士研究生

超表面设计和制备

罗栩豪

2021级博士研究生

光学超构表面设计、加工及应用

李浩昱

2022级博士研究生

片上光计算超表面设计与数值仿真计算

豆淋源

2022级博士研究生

片上超表面设计与数值仿真计算

饶晓峰

2022级博士研究生

超表面设计和制备

马志远

2022级博士研究生

非线性超表面设计与数值仿真计算

罗洪

2022级博士研究生

光流控光镊操控

陆澄锋

2022级博士研究生

光流控光镊操控

刘亮

2022级博士研究生

超表面设计和制备

科研条件

本方向具有近千核心CPU，15T内存仿真计算资源以及自主可控的高效率光场仿真工业基础软件，可满足微纳光学器件、宏微集成光学系统的快速仿真和设计；拥有6英寸甩胶机、8英寸高精度电子束光刻系统、低温反应离子刻蚀系统、原子层沉积等微纳光学器件制造核心设备以及扫描电子显微镜、原子力显微镜、角分辨测试系统等测试平台，具备强大的微纳结构制造与表征能力。

科研文化 Research culture