科学研究

冯超:超表面的“建筑师”

发布时间:2022-06-24 发布者: 来源: 浏览:

“方寸之间,自有天地。”由数百纳米的微结构组成的超表面,具备着颠覆常识的强大光学功能;但是,如何把纸上的设计制备成真实的器件,则是“建筑师”们需要探索的难题。电子束曝光、原子层沉积、等离子体刻蚀……合格的超表面器件需要经过数十道工序的迭代,需要“建筑师”们一砖一瓦的反复打磨。

图1电子束曝光实验

图2原子层沉积实验

图3等离子体刻蚀实验

图4超表面制备结果