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超高真空磁控溅射镀膜机2#

发布时间:2022-07-01 发布者: 来源: 浏览:

超高真空磁控溅射镀膜机2#

简介:磁控溅射制备极紫外至X射线波段各类光学薄膜,比如W/Si多层膜,Cr/C多层膜,Pt单层膜等。并可实现在线真空退火等工艺手段。样品尺寸:Φ100mm;厚度均匀性精度:优于2%。适用于极紫外、X射线与中子光学系统中各类小尺寸反射镜、偏振片、单色器等薄膜制备。