Bruker原子力显微镜
型号：Dimension Edge
简介：该设备可利用探针与受测样品原子之间的作用力来检测固体材料表面结构，课题组主要用于光栅的表面形貌探测。其X-Y方向的扫描范围为90μm×90μm，闭环噪声水平小于0.5nm RMS值；Z方向扫描范围为10μm，噪声水平小于50pm RMS值，样品台（X-Y轴）可观测范围为150mm×150mm。
