科学研究

一种基于多次迭代刻蚀的透射光学元件损伤阈值提升方法

发布时间:2016-08-17 发布者: 来源: 浏览:

专利类型:发明授权
申请/专利号: CN201410050337.3
发明/设计人:马彬 陆梦蕾 焦宏飞 程鑫彬 马宏平 王占山