研究方向:高精度X射线反射镜加工设计
研究方向:电子辐照光学薄膜表征
研究方向:极紫外薄膜元件技术及相关研究
研究方向:机械芯轴抛光
研究方向:极紫外x射线多层膜
研究方向:极紫外、软X射线多层膜
研究方向:XFEL薄膜元件光学性能及超快损伤动力学研究
研究方向:基于子孔径拼接干涉的高精度表面测量