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    基于线型磁控溅射靶枪的大尺寸平面基底镀膜方法及装置

    Time:2020-09-03 Publisher: Source: Visit:

    专利类型:发明专利

    申请/专利号:CN202010913247.8

    发明/设计人:王占山 齐润泽 王长青