微纳光学器件与集成应用-同济大学精密光学工程技术研究所

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微纳光学器件与集成应用

本方向致力于研究晶圆级微纳光学器件的调控机理、器件设计、制造表征和集成应用。研究方向聚焦于光场调控理论、计算电磁学、微纳加工技术以及片上集成应用等。

科研成果 Research achievements

The effect of an electric field on the thermomechanical damage of nodular defects in dielectric multilayer coatings irradiated by nanosecond laser pulses

Xinbin Cheng, Jinlong Zhang, Tao Ding, Zeyong Wei, et al. Science & Applications, 2013, 2(e80).

The effect of an electric field on the thermomechanical damage of nodular defects in dielectric multilayer coatings irradiated by nanosecond laser pulses
Xinbin Cheng, Jinlong Zhang, Tao Ding, Zeyong Wei, et al. Science & Applications, 2013, 2(e80).

科研队伍Research team

教师查看更多: 程鑫彬

程鑫彬，同济大学物理科学与工程学院院长、精密光学工程技术研究所所长，国家杰出青年科学基金获得者，现任国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）主任。长期致力于纳米计量和微纳光学交叉研究，主持国家重大科技专项、国家重点研发计划、国家自然科学基金、上海张江重大专项等科研项目，以第一/通讯作者在Light:Science&Applications、Science Advances、0ptica等期刊发表论文50余篇，在 OSA、SPIE顶级会议做特邀报告20余次。先后获教育部技术发明奖一等奖、国家技术发明奖二等奖、中国计量测试学会科技进步一等奖等奖项，并担任 IS0 国际标准化组织光学材料与器件委员会委员，中国计量测试学会理事，《Fundamental Research》、《强激光与粒子束》等核心期刊编委。程鑫彬教授在纳米计量领域取得系统性突破，研制5项国家一级标准物质（覆盖我国400nm以下全部5项国家一级标准物质，截止2025年7月），主导修订微纳米尺度校准规范，填补国内面向集成电路微纳检测领域多项空白；研发了量子化光晶格常数纳米计量新技术，推动纳米计量溯源链扁平化与测量精度跨越式提升。以第一完成人获上海市科技进步奖一等奖、中国计量测试学会科技进步奖一等奖，相关成果以通讯作者身份发表于Measurement Science and Technology等计量学顶级期刊。

何涛

主要从事微纳器件光场调控和光学操控与传感研究，入选中国科协青年人才托举工程，主持国家重点研发计划课题、国家自然科学基金青年项目等国家和省部级项目，以第一/通讯（含共同）作者身份在Sci. Adv.、Nat. Commun.、Light: Sci. Appl.、Appl. Phys. Rev.、Nano Lett.、Laser Photonics Rev.等发表文章22篇，申请国家发明专利6项（授权2项），研究成果入选“2022中国光学十大进展”(应用研究类)，入选封面或编辑精选7次。担任光电功能材料与器件专家委员会委员，受邀在国际和国内学术会议上做邀请报告6次，担任专题学术委员2次。

姜天舒

入选国家级高层次青年人才项目，主要从事拓扑光子学研究。曾在Nature、Nature Communications、Nanophotonics、Physical Review B等期刊上发表文章。

董思禹

董思禹，男，2020年博士毕业于同济大学，2020年6月进入同济大学物理学流动站从事博士后研究，2023年起担任同济大学物理科学与工程学院助理教授。主要从事微纳光学器件设计、制造与应用相关研究。入选中国科协“第八届青年人才托举工程”和上海市“超级博士后”激励计划。承担了国家自然科学基金青年基金、中国博士后科学基金特别资助、面上资助等科研项目。在Light: Science & Applications、Optica、Laser & Photonics Reviews、Applied Physics Letters、Optics Express等期刊发表SCI/EI论文20余篇，授权国家发明专利5项。

施宇智

入选国家级高层次青年人才项目、上海市领军人才（海外）青年项目，主要从事光流控光镊操控芯片的基础理论和生物应用研究。主持科技部重点研发课题、国自然青年和面上项目、上海市面上和基础研究特区等项目，在Science Advances（X5）、Physical Review Letters（X5）、Light: Science & Applications/elight （x10）、Nature Communications（X6）、Advances in Optics and Photonics (×2) 等知名期刊发表文章100余篇。获Micromachines2023青年科学家奖，2025年首届中国激光杂志社“青云奖”。

欧凯

同济的大学物理科学与工程学院助理教授，硕士生导师。主要从事人工微结构的多维光场调控理论与功能器件的实验表征研究。提出了光子多维度调控的全新理念，开展了矢量光场调控理论、实验和应用研究。在Scinece Advances、Laser & Photonics Reviews、Nanoscale等期刊发表文章十余篇，相关工作获2021年中国科学院院长优秀奖。担任Optics Letters、Optics Express等光学权威期刊的审稿人。

魏泽勇

主要从事人工微结构材料的光场调控机理、计算电磁学和光场仿真软件研究。发展了本征模式展开降维计算理论，将光栅、超表面、频率选择表面、光子晶体等周期结构的光场仿真计算效率提高了1-2个数量级；发展了傅里叶空间/实空间混合计算的微纳器件光学系统仿真方法，突破了含微纳器件的混合尺度光学系统全波仿真计算瓶颈；提出了基于层间耦合的宽频带电磁透明方法，开展了型号应用研究。在Advanced Optical Materials，Applied Physics Letters，Optics Letters等杂志上发表SCI论文60余篇，申请国家发明专利20多项，他引2400余次，申请并获得了三项国家自然科学基金项目，作为项目负责人承担了多项国防科研项目。

张惠淇

张惠淇，同济大学精密光学工程技术研究所科研助理，主要从事微纳光学与智能感知方向的科研项目相关事务。

朱静远

毕业于复旦大学信息科学与工程学院，主要从事微纳光学器件、X射线衍射元件及微纳加工技术研究。承担国家自然科学基金青年基金项目，作何课题骨干参与国家自然科学基金重大项目、科技部国家重点研发项目等，在Optics Express、Applied Optics、Micromachines、Nanomaterials等期刊发表多篇SCI文章。

科研条件

本方向具有近千核心CPU，15T内存仿真计算资源以及自主可控的高效率光场仿真工业基础软件，可满足微纳光学器件、宏微集成光学系统的快速仿真和设计；拥有6英寸甩胶机、8英寸高精度电子束光刻系统、低温反应离子刻蚀系统、原子层沉积等微纳光学器件制造核心设备以及扫描电子显微镜、原子力显微镜、角分辨测试系统等测试平台，具备强大的微纳结构制造与表征能力。