《电子束光刻技术课程大纲》
课程名称：电子束光刻技术总学时：10-12课时（每课1小时）授课时间：2022年5月30日- 6月12日 课程简介：本课程是基于复旦大学陈宜方教授32年的电子束光刻实战经验和积累、针对同济大学的实际情况与需求而专门组织准备的。讲授内容力求系统性，包含：原理、设备性能、光刻条件、光刻胶性能、理论模拟、工艺和应用等方面。适合于所有理工科学科的研究生、博士生和工程技术人员。 教学目标：1. 掌握电子束光刻的基础知识和光刻原理...
课程名称：电子束光刻技术总学时：10-12课时（每课1小时）授课时间：2022年5月30日- 6月12日 课程简介：本课程是基于复旦大学陈宜方教授32年的电子束光刻实战经验和积累、针对同济大学的实际情况与需求而专门组织准备的。讲授内容力求系统性，包含：原理、设备性能、光刻条件、光刻胶性能、理论模拟、工艺和应用等方面。适合于所有理工科学科的研究生、博士生和工程技术人员。 教学目标：1. 掌握电子束光刻的基础知识和光刻原理...
新型科研工具创制一直是是科学问题的探索和解决取得突破的重要基础之一。X射线自由电子激光和激光一样是由人类发明的一种自然界不存在的的光源
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