科学研究

齐宏光

【姓名】:齐宏光

【邮箱】:1930958@tongji.edu.cn

【兴趣爱好】:乒乓球、篮球、跑步

【学习经历】:

2019级硕士研究生,2019年9月进组

【导师】:焦宏飞教授

【研究方向】:利特罗入射下的消偏振宽带高效率光栅研究

【研究成果】:待补充

【科研技能】:

1、模拟仿真软件:RCWA(Matlab),Lumerical FDTD Solutions等。

2、设备工艺技术:电子束直写(EBL)、原子层沉积(ALD)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)、扫描电子显微镜(SEM)等。

【荣誉奖励】:待补充

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