科学研究

刘岳晨

【姓名】:刘岳晨

【邮箱】:2130941@tongji.edu.cn

【兴趣爱好】:钢琴,网球

【学习经历】:

2021级硕士研究生,2021年7月进组

【导师】:程鑫彬教授

【研究方向】:超表面设计和加工

【研究成果】:

【科研技能】:

1、模拟仿真软件:Lumerical FDTD Solutions,RCWA(Matlab)等。

2、设备工艺技术:电子束直写(EBL)、原子层沉积(ALD)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)、扫描电子显微镜(SEM)等。

【荣誉奖励】:

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