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  • 一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法

    专利类型：发明专利
    申请/专利号：CN202010945043.2
    发明/设计人：王占山 黄秋实 齐润泽 张众

  • 一种反射式超表面能流分布调控组件及其构建方法

    专利类型：发明专利
    申请/专利号：202110072583.9
    发明人/设计人：程鑫彬 何涛 王占山

  • 一种高损伤阈值的多层介质膜矩形衍射光栅制备方法

    专利类型：发明专利
    申请/专利号：202011420469.2
    发明人/设计人：程鑫彬 谢凌云 张占一 王占山
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