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一种双功能柱对称大尺寸高均匀性线型磁控靶镀膜设备

Time:2017-09-08 Publisher: Source: Visit:

专利类型:发明专利

申请/专利号:CN201710247265.5

发明/设计人:王占山 黄秋实 齐润泽 张众 慈连鳌