2020-同济大学精密光学工程技术研究所

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核心知识产权知识产权列表

1、一种远紫外高反射镜的制备方法
专利类型：发明授权
申请/专利号：CN201811635662.0
发明/设计人：杜建立张锦龙王金艳焦宏飞程鑫彬王占山
2、抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN202010945223.0
发明/设计人：黄秋实王占山张哲齐润泽张众
3、一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN202010945043.2
发明/设计人：王占山黄秋实齐润泽张众
4、基于线型磁控溅射靶枪的大尺寸平面基底镀膜方法及装置
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN202010913247.8
发明/设计人：王占山齐润泽王长青
5、一种金属/介质超宽带吸收薄膜及其制备方法
专利类型：发明授权
申请/专利号： CN201810466339.9
发明/设计人：焦宏飞钮信尚张学敏马彬张锦龙程鑫彬王占山
6、一种二维原子光刻栅格结构制备方法
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN201810548515.3
发明/设计人：程鑫彬邓晓李同保刘杰朱立
7、一种用于实现分步沉积型二维原子光刻的装置
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN201810548512.X
发明/设计人：程鑫彬邓晓李同保刘杰朱立
8、一种能谱仪探测深度的标定方法
专利类型：发明专利
申请/专利号：CN 109655475 B
发明/设计人：马彬韩佳岐王可程鑫彬王占山

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