研究方向：微纳加工技术、集成电路标准物质研制与定值
联系方式：23310117@tongji.edu.cn
办公室：闵行微纳实验室
研究方向：原子层沉积，化学机械抛光，强激光损伤
联系方式：xiajj@tongji.edu.cn
办公室：沪西校区物理实验楼202室
研究方向：光学纳米计量
联系方式：xuedb@tongji.edu.cn
办公室：光学馆
