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齐润泽了解详情

  • 职称:助理教授
  • 联系方式:qrz@tongji.edu.cn
  • 办公室:沪西校区帘青楼
  • 导师情况:硕士生导师

齐润泽,同济大学物理科学与工程学院助理教授、硕士生导师。 主要从事极紫外与X射线、中子光学薄膜元件技术及相关研究,发表SCI论文7篇,EI论文2篇(第一/通讯作者身份),申请/授权发明专利8项。研究成果已应用于:德国BESSY II光源,上海同步辐射光源,东莞散裂中子源,中国工程物理研究所,上海技术物理研究所等多家科研机构,同时也面向社会相关单位提供技术支持。依托极紫外薄膜元件技术,以副总工程师身份参与研制中国科学院SY01星-STURI空间载荷的研制项目。

  • 个人经历
  • 研究方向
  • 开授课程
  • 科研项目
  • 学术成果
  • 荣誉及奖励

工作经历

2019年11月–至今,同济大学物理科学与工程学院助理教授

2018年6月–2019年10月,同济大学物理科学与工程学院博士后

教育经历

2012年9月—2017年9月同济大学物理科学与工程学院博士

2006年9月—2010年6月吉林大学物理学院物理学学士

主要从事极紫外与X射线薄膜元件技术及相关研究

起始时间

终止时间

项目名称

项目来源

主要贡献

2021.1

2023.12

太阳观测用54-90nm极紫外波段Yb/Al多层膜制作及性能研究

国家自然科学基金委员会青年科学基金项目

项目负责人

2020.1

2021.12

太阳观测成像用46.5nm波长Sc基窄带多层膜反射镜辐照稳定性研究

中国科学院太阳活动重点实验室开放课题

项目负责人

2021.1

2022.12

46.5nm极紫外太阳成像仪用窄带多层膜反射镜制备

中国科学院战略性先导科技专项

项目负责人

学术成果

1.Runze Qi, Qiushi Huang, Yang Yang, Zhong Zhang. Zhanshan Wang*. Stress and Microstructure Study of W/Si X-ray Multilayers with Different Structural Parameters,Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2019, 19(1): 568-574(7).

2.Liuyang Pan,Runze Qi*, Yufei Feng, Jiaqi Chen, Zhong Zhang, Wenbin Li, Zhanshan Wang*. Effect of nitrogen doping on surface morphology, microstructure, chemical composition and intrinsic stress of nickel thin films deposited by reactive sputtering. Surface and Coatings Technology, 2019, 364: 196-203.

3.Runze Qi, QiushiHuang*, Jiani Fei, Igor V. Kozhevnikov, Yang Liu, Pin Li, Zhong Zhang, Zhanshan Wang*.Evolution of the internal structure of short-period Cr/V multilayers with different vanadium layers thicknesses. Materials ,2019, 12(18): 2936.

4.Runze Qi,Liuyang Pan, Yufei Feng, Jiali Wu, Wenbin Li, Zhanshan Wang*. Evolution of chemical, structural, and mechanical properties of titanium nitride thin films deposited under different nitrogen partial pressure. Results in Physics, 2020,19:103416.

5.Yang Yang,Runze Qi*,Zhong Zhang, Yiyun Yao, Hangjian Ni,Zhanshan Wang, Huarui Wu, Xuewu Wang, Zhong Z A , et al. Ni-Ti supermirror coated onto a curved substrate for nested neutron-focusing optics. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2021, 986:164752

6.Yufei Feng,Runze Qi*, Li Jiang, Qiushi Huang, Tongzhou Li, Genchang Liu, Wenbin Li, Wensheng Yan, Zhong Zhang and Zhanshan Wang. Chemical Modification of B4C Films and B4C/Pd Layers Stored in Different Environments. Materials, 2021, 14:1319

7.Handan Huang, Li Jiang, Yiyun Yao, Zhong Zhang, Zhanshan Wang andRunze Qi*.Controlling Film Thickness Distribution by Magnetron Sputtering with Rotation and Revolution. Coatings,2021, 11(5):599

8.Runze Qi, Qiushi Huang, Yang Yang, Zhang Zhong, Zhanshan Wang*. Effects of sputtering parameters and separator plates on the structure and stress of w/si multilayers in x-ray telescope applications. Optical Engineering, 2017, 56(3), 035103.1-035103.6.

9.Changqing Wang, Zhanshan Wang, Zhong Zhang,Runze Qi*.Calculation and verification of linear target deposition distribution. Proc. SPIE, 2020, 11617:116171M

10.Jiali Wu,Runze Qi*, Zhanshan Wang, Qiushi Huang, Xianyong Bai,Structure and stability of Sc/Si multilayers with different thickness ratio for wavelength at 46.5 nm. Proc. SPIE, 2020, 11491:1149106


专利:

授权时间

代表性授权专利名称及专利号

排名

2019.6

一种用于涂硼中子探测器富硼涂层的薄膜结构,CN201910180279.9

第一

2022.1

基于线型磁控溅射靶枪的大尺寸平面基底镀膜方法及装置,CN202010913247.8

第二

2021.2

一种直线型多功能磁控溅射镀膜设备及镀膜方法,CN202011079375.3

第二

2019.3

一种双功能柱对称大尺寸高均匀性线型磁控靶镀膜设备,ZL 201710247265.5

第三

2019.3

一种提高线型磁控溅射靶枪在凹形柱面基底镀膜质量的方法,ZL 201710247339.5

第三

2020.11

一种提高线型磁控溅射靶枪在凹形柱面基底镀膜质量的方法,ZL 201710247339.5

第三

2021.1

一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法,CN202010945043.2

第三