【姓名】:刘岳晨
【邮箱】:2130941@tongji.edu.cn
【兴趣爱好】:钢琴,网球
【学习经历】:
2021级硕士研究生,2021年7月进组
【导师】:程鑫彬教授
【研究方向】:超表面设计和加工
【研究成果】:
【科研技能】:
1、模拟仿真软件:Lumerical FDTD Solutions,RCWA(Matlab)等。
2、设备工艺技术:电子束直写(EBL)、原子层沉积(ALD)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)、扫描电子显微镜(SEM)等。
【荣誉奖励】: