【姓名】:刘亮
【邮箱】:2211213@tongji.edu.cn
【兴趣爱好】:无
【学习经历】:
2018.9-2022.6 同济大学-光电信息科学与工程-工学学士
2022-至今 同济大学-物理学-博士在读
【导师】:张锦龙
【指导教师】:朱静远
【科研技能】:
1.模拟仿真软件:Lumerical FDTD Solutions,RCWA(Matlab)等
2.设备工艺技术:电子束直写(EBL)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)、扫描电子显微镜(SEM)、光学效率测试系统、光学散射测试系统等
【荣誉奖励】:无
【论文】:无
【专利】:
1.专利名称:一种基于电子束灰度光刻制造的闪耀光栅轮廓修正方法,申请号:202411299381.8