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刘亮

【姓名】:刘亮

【邮箱】:2211213@tongji.edu.cn

【兴趣爱好】:无

【学习经历】:

2018.9-2022.6 同济大学-光电信息科学与工程-工学学士

2022-至今 同济大学-物理学-博士在读

【导师】:张锦龙

【指导教师】:朱静远

【科研技能】:

1.模拟仿真软件:Lumerical FDTD Solutions,RCWA(Matlab)等

2.设备工艺技术:电子束直写(EBL)、电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)、扫描电子显微镜(SEM)、光学效率测试系统、光学散射测试系统等

【荣誉奖励】:无

【论文】:无

【专利】:

1.专利名称:一种基于电子束灰度光刻制造的闪耀光栅轮廓修正方法,申请号:202411299381.8

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