2024年3月17日下午,中国科学院上海光机所苏榕研究员来到同济大学精密光学工程技术研究所交流并作主题为“通过白光干涉测量看表面测量学中的校准”的学术报告。报告会由物理科学与工程学院黄秋实教授主持,现场的气氛十分活跃。
在现代光学元件的加工制造中,光学表面形貌检测是加工精度的前提。苏老师从现代光学表面形貌测量的基本定义和概念切入,介绍了不同空间频率下不同的测量方法,然后分析了表面形貌测量中各种误差的来源。苏老师指出:为了提高测量的精度,必须对测量方法的系统误差进行标定和校准。最后以白光干涉为例,重点介绍了系统误差的校准方法。
报告结束后,老师同学们积极提问,苏老师与各位老师同学对于表面形貌测量系统误差的矫正进行了深入的交流。