2026年1月13日,上海市全光谱高性能光学薄膜器件及应用专业技术服务平台(以下简称“平台”)第一届技术委员会第五次会议暨2025年度总结会议在同济大学沪西校区召开。技术委员会主任祝世宁院士(南京大学),吴健教授(华东师范大学)、张大伟教授(上海理工大学)、黎华研究员(中国科学院上海微系统与信息技术研究所)、李中亮正高级工程师(中国科学院上海高等研究院)、姜大朋正高级工程师(中国科学院上海硅酸盐研究所)、任宽副研究员(中国工程物理研究院激光聚变研究中心)、王立栓高级工程师(天津津航技术物理研究所)、王占山教授(同济大学)等委员出席会议,平台建设与运行团队成员参加会议。

同济大学科学技术研究院副院长杨华代表学校致辞,对各位专家长期以来对平台建设的关心和支持表示感谢,并介绍了平台在服务国家重大需求、支撑学校学科发展方面取得的阶段性成效。上海市科学技术委员会科技基础设施与平台建设处处长张露璐对平台建设工作给予充分肯定,强调平台要持续聚焦国家战略需求与产业关键技术问题,不断提升开放共享和技术服务能力。


会议听取了平台年度建设情况与科研进展汇报。焦宏飞教授代表平台负责人王占山教授作2025年度建设总体汇报,系统介绍了平台在基础条件建设、团队建设、对外服务及标志性成果等方面取得的重要进展。马彬教授、黄秋实教授、钮信尚助理教授和汲小川博士后分别围绕准分子激光损伤测量关键技术、高性能X射线准直部件关键技术、多功能强激光薄膜性能提升、深紫外光学薄膜器件关键技术等方向作专题报告。





经审议,技术委员会一致认为,平台在多个关键方向取得了一批具有重要影响力的代表性成果:面向上海光源装置建设需求,创新提出X射线聚焦镜亚纳米级拼接检测与确定性制造技术,国内首次实现30 nm级X射线聚焦,性能达到国际先进水平;面向国产高端X射线分析仪器需求,成功研制高精度X射线多层膜准直部件并实现工程化应用,推动关键核心部件国产化替代;在强激光与深紫外薄膜器件领域,系统构建覆盖“材料—设计—工艺—表征”的全链条自主技术体系,研制出多型高性能薄膜元件,有力支撑我国高端光刻装备和激光装备发展。
会议指出,平台已在服务国家重大科技基础设施、可控聚变、高端仪器与集成电路等领域形成稳定支撑能力,技术创新与产业服务协同推进,创新策源和示范效应不断增强。委员们建议,平台在下一阶段建设中进一步拓展技术应用场景,加强成果转化和行业服务深度,持续提升在全光谱光学薄膜器件领域的引领作用。
技术委员会主任祝世宁院士在总结发言中高度评价了平台在体系建设、关键技术突破和服务国家需求方面取得的扎实进展,认为平台发展方向清晰、特色鲜明,具备持续提升的良好基础。平台负责人王占山教授代表平台团队对各位委员的指导和建议表示衷心感谢,并表示将认真梳理落实会议意见,进一步强化优势、补齐短板,扎实推进平台高质量发展,为服务国家战略和区域科技创新作出更大贡献。

