近日,同济大学一大批学生科创成果亮相第十四届“挑战杯”中国大学生创业计划竞赛,共摘得金奖1项、银奖1项、铜奖7项。其中,我院咫尺匠“芯”团队荣获全国铜奖。
作为物理学院优势获奖项目,该项目展示了我院面向先导产业“卡脖子“领域的最新科研进展,充分体现了课程思政和前沿科研协同育人成效。同时,该项目的研究成果于2024年10月30日至31日参加了我国首届计量仪器装备展(2024),在同济大学/国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)展台展出。
项目名称:
咫尺匠“芯”
——集成电路亚纳米计量领军者
项目成员:
朱宏宇、林子超、宁宣景、陈语彤,范本轩、王竞晨、陈哲骋
指导老师:
邓晓、薛栋柏
项目简介:
纳米计量是集成电路微纳检测设备量值溯源,误差控制与测量准确性的核心支撑。同济大学物理科学与工程学院“咫尺匠芯”团队通过揭示自然常数物化、量值传递的物理规律,确立了以“量值传递扁平化”为核心的纳米计量创新思路。历经四年研发,团队利用皮米级平均间距准确性原子光刻光栅成功研制了极小非线性误差的“自溯源型光栅干涉仪”。该仪器可以有效克服对严苛环境控制及空气折射率校准的依赖,具有优于亚纳米级的位移测量精度,并兼顾极高抗环境干扰能力的核心优势。研究成果现已实现微型、集成化,有望为集成电路量测设备提供现场计量校准方案。
一路走来,团队成员们付出了大量心血,从项目构想到方案设计,从反复论证到最终成果,每一步都充满了挑战与成长。学院的支持和指导老师的耐心帮助,使得团队在创新创业的道路上不断前行,不断突破,共创未来!
祝贺他们!竞赛虽落幕,创新不停歇,物理学子将砥砺前行,勇攀新高峰!
转载自 同济大学物理科学与工程学院 公众号