精密光学工程技术研究所王占山和程鑫彬团队林子超、姚玉林等人在《Precision Engineering》杂志上发表题为“Optimization and fabrication of chromium grating in self-traceable interferometer”的文章。
以自然常数为核心的计量方法是保证纳米测量具有可溯源性的有效途径。由原子光刻技术制造的间距为d=212.7705±0.0049nm的铬（Cr）光栅，可溯源至铬跃迁频率7S3→7P40。本研究的目的是阐明和优化铬光栅的衍射特性，以增强其在以铬原子频率为核心的长度溯源链中作为自溯源长度标准的功能。为此，本文探索了铬光栅的几何形态和衍射特性。这项研究还分析了光栅的偏振敏感特性对利特罗配置光栅干涉仪的影响，并确定了铬光栅的未来制造目标。在实验中，通过扫描原子光刻技术制作了尺寸拓展的铬光栅，分析了其衍射性能，并在自溯源光栅干涉仪中进行了初步验证。这项研究与计量扁平化的计量发展趋势一致，为推动计量技术的进步提供了重要参考。
图1.原子光刻技术制备铬自溯源光栅
图2.铬自溯源光栅的衍射特性分布
文章链接：https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2023.12.008。
