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一种超高精度多层膜厚度漂移误差标定方法
专利类型:发明专利 申请/专利号:CN202010945043.2 发明/设计人:王占山 黄秋实 齐润泽 张众
一种反射式超表面能流分布调控组件及其构建方法
专利类型:发明专利 申请/专利号:202110072583.9 发明人/设计人:程鑫彬 何涛 王占山
一种高损伤阈值的多层介质膜矩形衍射光栅制备方法
专利类型:发明专利 申请/专利号:202011420469.2 发明人/设计人:程鑫彬 谢凌云 张占一 王占山
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